屹持光电提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒,为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学(例如中子散射)、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要,可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓,具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。
表中显示的尺寸代表目标值。周期的精度优于0.5%,而沟槽深度和线和空间的宽度可能与目标值相差15%。SEM用于说明目的。可定制更精确尺寸信息。
纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒规格
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描述
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值
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基材宽度和高度公差
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标准公差±0.2 mm
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通光孔径(CA)
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距基板边缘0.5 mm(图案可延伸至基板边缘)
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基材厚度
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0.675±0.050mm
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CA表面质量
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P / N “-P”:60/40,最高20/10
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CA表面质量
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P / N “-S”
:80/100
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CA外表面质量
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无要求
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材料
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单晶硅,反应离子蚀刻
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